一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠房均設有次潔凈區，使得潔凈室中含微粒之氣流經由高架地板及潔凈室樓板進入到次潔凈區，再由抽風設備將次潔凈區之氣流抽至潔凈室天花板之濾網，重新過濾出潔凈且穩定之氣流，而產生一個循環系統，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風孔，使潔凈室之氣流經由此回風孔送到次潔凈區。再加上須具有足夠強度以承受制程機臺之重量，以及抑制微振動影響制程之質量，因此衍生出潔凈室樓板之特殊設計。目前高科技廠房潔凈室樓板使用的通風樓板統稱為華夫板。
華夫板介紹
來源： 時間：2021-12-01 16:37:49 瀏覽次數：
一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠房均設有次潔凈區，使得潔凈室中含微粒之氣流經由高架地板及潔凈室樓板進入到次潔凈區，再由抽風設備將次潔凈區之氣流抽至潔凈室天花板之濾網，重新過濾出潔凈且穩定之氣流，而產生一個循環系統，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風孔，使潔凈室之氣流經由此回風孔送到次潔凈區。
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